日本産業規格 JIS
H 0615：1996
フォトルミネッセンスによる
シリコン結晶中の不純物濃度測定方法
正 誤 票
区分
位 置
誤
正
本体
3.1 (4)
l＝
2
2
2
dD
（L−L1）＋
2
1
3d
L
（D22
＋D2D1＋D12）−
2
1
3d
l
（d22＋d2d1
＋d12）＋ l1
l＝
2
2
2
dD
（L−L1）＋
2
2
1
3d
L
（D22＋D2D1
＋D12）−
2
2
1
3d
l
（d22＋d2d1＋d12）＋ l1
6.2 図5
（スペクトルに
付記された左か
ら2番目の記
号）
BTO(b2ʼ)
PTO(b2ʼ)
平成18年4月3日作成